研磨平板比刮研平板精度高，平臺表面鏟刮刀痕被研磨平，平面度誤差小。
工作原理是游離的磨粒通過研磨平臺對工件進行微量的切削（包含著物理和化學的綜合作用），修正工件加工表面_微小的誤差。
（一）物理作用：
研磨時，可預先把磨料壓嵌在研磨平板（簡稱研具）表面，也可在研具或工件表面涂一層研磨劑。由于研具的材料比被研磨的工件軟，研磨劑中的磨粒在研具表面一種半固定或浮動的多刃基體。當研具與工件相對施加壓力作研磨運動時，介于兩者之間的無數(shù)磨粒作刮劃、滾動，從而產(chǎn)生微量的切削作用，而每一磨粒都不會在工件表面重復自己的運動軌跡。
（二）化學作用：
當采用氧化鉻、硬脂酸或其他劃線研磨劑對工件進行研磨時，工件的金屬表面會形成一層_薄的氧化膜。氧化膜本身很容易被研磨掉。在研磨過程中氧化膜迅速形成，又不斷的被磨掉，從而加快了研磨過程。

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